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22-14纳米集成电路器件工艺先导技术
发布时间:2018-01-09 来源: 【字号:  

  项目名称:22-14纳米集成电路器件工艺先导技术

  第一完成单位:微电子研究所

  获奖级别:技术发明奖二等奖

(责任编辑:陈丹)
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